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特征要點：
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加載檢測
·整體潔凈度等級優(yōu)于ISO Class4
·Mapping姿態(tài)檢測最小支持300μm厚度
·晶圓交接重復(fù)性精度≤7μm
·運行速度最大150mm/s
·停電或緊急停止安全原位保持
·維護MTTR≤30分鐘
·支持SEMI標準
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